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半导体厂房微振检测:VC-A 到 VC-D 怎么判?11 个点位实测复盘
【导语】进口振动分析仪销售中常被问到:微振检测的 VC 标准到底怎么判?本文用半导体无尘室 8 个点位、CVD 车间楼板 3 个测点与车间地面 3 个点位共 14 个测点的实测数据,讲清 VC-A 至 VC-D 的判定逻辑、地面与楼板检测的
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